冷却システムの洗浄工事

サービスの概要

  • 主に半導体・液晶関連における製造装置の取り外しできない設備に対して、クリーンルーム内へ洗浄機材を持ち込み、作業を行います。

洗浄作業手順

1.機材搬入→2.仮設配管組付け→3.水循環流量測定→4.薬液循環洗浄→5.水循環リンス洗浄→6.流量回復確認→7.pH値チェック→8.復旧作業→9.機材搬出　※洗浄効果：冷却ライン生成物（Si）を除去し、流量を回復いたします。

ポンプユニット

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